北方華創(chuàng)開展SiC晶體生長設(shè)備和技術(shù)的研發(fā)攻堅(jiān)至今已有十余年積累，具有一支成熟的裝備及晶體生長工藝的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。
碳化硅晶片主要用來做成高壓功率器件和高頻功率器件，主要分為兩種類型：導(dǎo)電型的 SiC 晶片經(jīng)過 SiC 外延后，可制作成高壓功率器件；半絕緣型的 SiC 晶片經(jīng)過 GaN 外延后，可制成RF器件。從2017年正式發(fā)布4吋導(dǎo)電型SiC長晶設(shè)備解決方案并將首臺(tái)設(shè)備推向市場(chǎng)以來，北方華創(chuàng)現(xiàn)已具備大尺寸、導(dǎo)電/高純半絕緣型、粉料合成/晶體生長/晶錠熱處理等多種技術(shù)路線的10余種設(shè)備機(jī)型，助力中國SiC企業(yè)實(shí)現(xiàn)高速發(fā)展。
北方華創(chuàng)始終將“以客戶需求為導(dǎo)向的持續(xù)創(chuàng)新”作為企業(yè)的經(jīng)營理念。作為國內(nèi)先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，北方華創(chuàng)提出了“工藝研發(fā)指導(dǎo)設(shè)備研制，與大生產(chǎn)線緊密結(jié)合”這一科學(xué)的技術(shù)攻關(guān)路線，強(qiáng)調(diào)以客戶需求為牽引，開發(fā)出能滿足芯片生產(chǎn)線使用的工藝設(shè)備，并在實(shí)現(xiàn)工藝能力的過程中不斷完善設(shè)備軟硬件設(shè)計(jì)，從而快速、準(zhǔn)確地滿足用戶要求，開拓先進(jìn)高端設(shè)備的應(yīng)用市場(chǎng)。
創(chuàng)新是一個(gè)企業(yè)基業(yè)長青的奧秘，只有將匠心融于創(chuàng)新，企業(yè)發(fā)展的血脈才得以有新鮮血液不斷融匯奔涌起來。未來，北方華創(chuàng)將繼續(xù)秉持“十年磨一劍”的精神，淬匠心智造之火，鑄產(chǎn)業(yè)發(fā)展利刃。
